Вакуумное оборудование для нанесения алмазоподобных покрытий
Вакуумная установка предназначена наносить алмазоподобные (DLC) покрытия PVD методом, а также наносить вакуумные покрытия сложного фазового состава на основе тугоплавких материалов, в том числе, и на изделия с низкой температурой отпуска.
Наличие в установке системы контроля качества очистки поверхности и анализа остаточной среды позволяет контролировать очистку поверхности деталей на атомарном уровне, а также обеспечивает управление основными параметрами технологического процесса в автоматическом режиме с формированием покрытий стехиометричных по составу от цикла к циклу.
Вакуумная установка может работать в ручном, полуавтоматическом и автоматическом режиме по заданной программе.
Алмазоподобные (DLC) покрытия нашли свое широкое применение:
- в машиностроении для упрочнения режущего инструмента в 2-15 раз;
- для получения износостойких и антифрикционных слоев в высокоточных узлах трения;
- в качестве защитных и декоративных покрытий;
- в медицине для защитных, совместимых с живыми тканями покрытий протезов, сердечных клапанов, контактных линз;
- в оптике для фильтров, селективной оптики;
- и других отраслях.
Основные свойства покрытий:
- высокая твердость до 60 ГПа;
- низкий коэффициент трения;
- высокая износоустойчивость;
- экологическая чистота.