Вакуумные технологические линии

В зависимости от наличия технологических источников вакуумная линия позволяет осаждать упрочняющие, защитно-декоративные, оптические покрытия в автоматическом режиме на различные подложки.

Заявка

Технические характеристики вакуумных технологических линий:

1. Количество камер - 3 - 7 шт.
2. Размеры подложек:
ширина - до 3000 мм
длина - до 4000 мм
3. Количество магнетронов - 2 - 7 шт.
4. Количество ионных источников - 1 - 3 шт.
5. Время цикла - от 60 сек.

Обозначения:

1. Нагреватель
2, 3, 5, 7, 9. Камера
4. Источник ионов
6,8. Магнетроны
10. Изделие
11, 12. Стойки питания
13. Стойка контроля
14. Форвакуумная система
15. Высоковакуумная система
16. Стойка управления
17. Затвор
I - V. Камеры

Актуальное в соц сетях: