- Вакуумная камера может быть вертикального или горизонтального исполнения. Размер камеры согласуется с Заказчиком.
- Вакуумная система изготавливается на основе диффузионных и механических средств откачки, могут применяться криогенные и турбомолекулярные насосы.
- Технологическая оснастка в зависимости от обрабатываемых изделий выполняется с нижним или верхним приводом вращения
- Технологические источники:
- электронно-лучевые испарители
- ионные источники газов
- резистивные испарители
- магнетронные системы
5. Стойки питания и управления установок предусматривают применение импортных комплектующих стран Великобритании, Германии, Японии, США: контроллеры откачки, технологического процесса, температуры, привод вращения технологической оснастки, прибор анализа плазмы и управления расходом технологического газа, спектральная система контроля толщины оптических покрытий.
Вакуумная установка для нанесения оптических покрытий может работать в ручном, полуавтоматическом и автоматическом режиме по заданной программе при помощи компьютера.